面向SOC的新型片上磁介质射频微电感

基本信息
批准号:90607021
项目类别:重大研究计划
资助金额:27.00
负责人:刘理天
学科分类:
依托单位:清华大学
批准年份:2006
结题年份:2008
起止时间:2006-07-01 - 2008-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:谭智敏,刘锋,杨晨,张筱,韩琳
关键词:
集成工艺片上微电感磁介质全填充RF铁氧体薄膜SOC
结项摘要

项目拟研究一种面向SOC中射频电路应用的新型片上磁介质全填充微电感。研究内容包括:研究可应用于GHz以上频段、适于射频集成电感应用要求的低损耗、高截止频率铁氧体磁性薄膜;开发与集成电路工艺相兼容的磁性薄膜制备工艺模块;研究磁介质全填充微电感的等效电路模型,对电感结构进行优化设计;在上述基础上,研制出磁介质全填充片上射频微电感。该电感通过实现闭合磁路设计,有效增大电感磁通、减少磁能损耗,从而提升电感

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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