天文光学镜面的离子束抛光技术研究

基本信息
批准号:10373018
项目类别:面上项目
资助金额:26.00
负责人:郭伟远
学科分类:
依托单位:中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
批准年份:2003
结题年份:2006
起止时间:2004-01-01 - 2006-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:陆文治,袁吕军,王海,肖光辉,杨德华
关键词:
离子束抛光超精密加工镜面抛光
结项摘要

利用已有的真空设备,建立试验装置;选用长寿命离子源,引出聚焦离子束流,用机械扫描装置通过计算机软件控制离子束在镜面上各点的驻留时间实现对大口径镜面的精确修正。须探索稀薄气体放电机制,获取性质一致的离子,并形成高稳定性的、束流密度较大的聚焦束流。通过试验了解离子源工作参数(离子束能量、束流密度、入射角度)与不同种类的被抛光材料的相互作用。. 离子束抛光是原子量级上的无应力、非接触式抛光工艺。抛光过程

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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