MEMS中典型微构件多物理场耦合作用下粘附行为的理论与实验研究
基本信息
批准号：50305014
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：8.00
负责人：张向军
学科分类：
依托单位：清华大学
批准年份：2003
结题年份：2004
起止时间：2004-01-01 - 2004-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：孟永钢,肖丽英,李翠红,吴昊,张敏梁
关键词：
微构件粘附尺度效应耦合作用表面效应
结项摘要
微构件表面粘附作为微机电系统(MEMS)失效的主要方式，是微机电系统设计制造、封装、运行中急待解决的关键问题。本项目旨在立足于微尺度下的表面效应、尺度效应以及量子效应，并考虑多物理场包括温度场、湿度场、静电场、表面力场等的耦合作用，建立微构件非线性变形与表面粘附行为的分析理论和方法；探究典型微构件粘附行为的机理、规律、影响因素以及粘附发生的判断准则和临界参数，包括临界间隙、临界刚度、临界湿度、临界
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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