硅基纳米薄膜湿敏元件阵列研制
基本信息
批准号：60074031
项目类别：面上项目
资助金额：18.00
负责人：王兢
学科分类：
依托单位：大连理工大学
批准年份：2000
结题年份：2003
起止时间：2001-01-01 - 2003-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：林秋华,周日强,张彤,阮圣平,赵志勇
关键词：
薄膜制备硅衬底湿敏元件阵列
结项摘要
本项目在已研制的纳米厚膜湿敏元件的基础上，采用胶体涂膜等方法，结合纳米材料制备技术，在硅基芯片上制备BaTiO3 ,LaFeO3等湿敏薄膜，并结合平面器件工艺，制作具有湿度补偿元件及可实现以人工神经网络等信息处理方法测量的新型实用化湿度传感器阵列。本器件工艺与硅集成电路工艺兼容，对传感器的集成化和智能化具有实际意义。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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