掺磷氮化硼紫外光敏膜及紫外空间光调制器研究

紫外波段信息的探测研究对未来科技、经济发展具有重要战略意义。传统紫外光电型探测器受点阵成像工作原理限制，难以得到高分辩率图象且器件性能不稳。以等离子增强化学气相沉积技术制备紫外光敏、禁带可调的宽禁带半导体氮磷化硼膜，结合液晶光阀制备技术，预期能研制出新型的高分辨光电导型紫外空间光调制器件。开辟紫外探测研究的新领域。