表面等离子体光学光刻原理和方法研究
基本信息
批准号：60507014
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：26.00
负责人：罗先刚
学科分类：
依托单位：中国科学院光电技术研究所
批准年份：2005
结题年份：2008
起止时间：2006-01-01 - 2008-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：姚汉民,史浩飞,陈兴俊,徐文祥,朱少丽
关键词：
分辨力表面等离子体波纳米光刻
结项摘要
采用色散媒质的矢量电磁场计算理论，结合表面等离子体波的局域特性，建立加工任意图形的掩模结构的逆向设计方法，并设计出相应的光刻掩模；分析在长波长光的照射下，所设计出的掩模上表面等离子体波对出射光场分布的调制情况。研究利用传统光刻技术和电子束工艺制作金属掩模的工艺。通过g线曝光光源激发等离子体波，结合g线光刻胶，探索观察等离子体波对光刻胶的作用机理、感光特性、光刻图形的对比度、侧壁陡度、分辨率、及光刻
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
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