量子光刻的实验研究
基本信息
批准号：60178013
项目类别：面上项目
资助金额：20.00
负责人：吴令安
学科分类：
依托单位：中国科学院物理研究所
批准年份：2001
结题年份：2004
起止时间：2002-01-01 - 2004-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：吴美娟,廖静
关键词：
量子纠缠态参量下转换光刻
结项摘要
量子光刻可望解决传统光刻技术面临的衍射极限问提。用N-光子纠缠态光场，光刻分辩率可提高N倍。这不仅对信息技术意义重大，且属于深入理解N-粒子纠缠态量子性质的基础性研俊１究翁獠捎霉獠瘟抗滩喔鱿伦还庾佣?再经过和频过程形成三个光子纠缠态的光源。此外，将探索新的纠缠态光源。.
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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