基于光操纵原子制作复杂纳米图形的原理研究

基本信息

批准号：60476016

项目类别：面上项目

资助金额：6.00

负责人：邢廷文

学科分类：

依托单位：中国科学院光电技术研究所

批准年份：2004

结题年份：2005

起止时间：2005-01-01 - 2005-12-31

项目状态：已结题

项目参与者：姚汉民,陈献忠,冯建美,龙波,周金梅,刘国庆

关键词：

原子的激光操纵复杂纳米结构加工

结项摘要

将原子光学理论应用到微细加工技术领域，探索复杂纳米结构制作的新途径。在现有的理论和技术基础上研究用光操纵原子实现纳米量级聚焦的理论、高密度纳米结构制作的原理、复杂纳米结构制作的原理和方法等，为复杂纳米结构制作技术提供新理论、新方法。在构思上和加工工艺上与现有的技术具有明显的不同，该技术不需要价格昂贵、结构复杂的光学成像镜头，具有分辨力高（可达几个纳米）、成本低、效率高等优点，是一种有发展前景、用途

项目摘要

项目成果

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发表时间：{{i.publish_year}}

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数据更新时间：2023-05-31

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DOI：10.3969/j.issn.1674-0858.2020.04.30

发表时间：2020

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