铟磷及相关合金的反应离子刻蚀工艺及伴生损伤研究
基本信息
批准号：69186001
项目类别：专项基金项目
资助金额：5.63
负责人：陈伯良
学科分类：
依托单位：中国科学院上海技术物理研究所
批准年份：1991
结题年份：1994
起止时间：1992-01-01 - 1994-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：赵文琴,李杰,周婕
关键词：
***
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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