纳米及微米薄膜的压痕与断裂性能

制作薄膜基底试样，包括不同材料、不同厚度等，并完成微米纳米压痕实验；完成薄膜基体界面裂纹三点弯曲实验；进行薄膜的压痕及断裂有限元计算，分析影响薄膜力学性质的各种因素。给出具体薄膜基底材料的内禀材料长度。比较微米、纳米薄膜力学性质的异同，给出客观的评价，最终建立薄膜基底系统的减化摸量公式，为应用提供理论依据。