薄膜型光相控阵器件基础研究

薄膜型光相控阵同时具有液晶光相控阵低驱动电压和陶瓷材料光相控阵耐强激光、快速响应的优点，因此将成为高性能光相控阵实现的突破口。本项目根据铁电薄膜材料的电光特性，借鉴铁电薄膜干涉仪结构，阐明利用铁电薄膜获得大的相位延迟的原理；研究薄膜型光相控阵的调制和扫描原理，设计薄膜型光相控阵的结构参数对移相单元电场分布、相位分布、扫描角度和光学效率的影响规律，优化器件结构参数和电压加载方式减小回扫区宽度；研究铁电薄膜材料与基片、电极的物理和化学相容性，探索基于PLZT薄膜的光相控阵非标微细加工原理，为薄膜型光相控阵的研制提供理论依据和实验指导。