本项目针对传统振动传感器在微机电系统动态特性检测过程中的局限性和存在的问题,提出了一种基于蜘蛛振动感知机理的仿生多维微拾振构件的设计新思路。研究内容主要包括:基于蜘蛛腿部琴形器的振动感知机理,利用仿生学原理,研究一种仿生多维微拾振构件的设计新方法;研究仿生多维微拾振构件的动力学模型以及多维振动信号解耦技术;研究仿生多维微拾振构件的微制造加工工艺及封装技术,并研制仿生多维微拾振构件的原型样机;研究仿生多维微拾振构件的标定与性能评价技术;根据蜘蛛的猎物定位原理,研究基于仿生多维微拾振构件的微机电系统振源定位新方法。.本项目研究成果在MEMS动力学特性测试分析、微传感器开发、生物感觉器官仿生技术等方面将具有重要的学术和应用价值,在MEMS科学、精密仪器设备、生命科学、航空航天和军事科学等领域将具有广阔的应用前景。
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数据更新时间:2023-05-31
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