有害工艺气体高温反应-分解机理与传热特性

电子加工与制造过程产生相当数量低浓度特殊有害气体和物质，利用高温空气燃烧技术和多孔陶瓷过滤元件，可以得到较均匀高温环境，有效分解有害气体，探讨洁净贫氧燃烧明显降低氮氧化物的污染机理；高温蜂窝陶瓷换器实现有效回收高温烟气物理显热。本课题研究相关机理以及夹心陶瓷过滤元件净化换热特性，为处理工艺有害气体提供基础理论依据。