外延生长晶体薄膜中失配位错形核与控制的分子动力学研究

基本信息
批准号:10502024
项目类别:青年科学基金项目
资助金额:22.00
负责人:周耐根
学科分类:
依托单位:南昌大学
批准年份:2005
结题年份:2008
起止时间:2006-01-01 - 2008-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:杜丹旭,徐飞,魏秀琴,宋照东
关键词:
分子动力学外延生长失配位错薄膜
结项摘要

基于Baskes近年提出的可调参数的LJ-EAM多组元分析势,采用分子动力学模拟方法,以可调失配度的理想衬底上(111)外延生长Ni薄膜为对象,研究失配度、衬底温度、生长速率、沉积原子动能和入射角对外延膜内部应力分布及其演变、失配位错形成的临界厚度与微观过程的影响;模拟分析表面形貌和表面机械微扰对薄膜应力分布以及失配位错形成的影响;提出失配位错的形核机制并基于它推导出失配位错形核能垒及临界厚度的表

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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