电化学合成及纯化五-(二乙基胺)-钽基础研究

随着微电子器件尺寸的进一步缩小，TaN薄膜成为防止铜扩散的关键材料，而五-(二乙基胺)-钽 (PDEAT)是金属有机化合物气相沉积TaN薄膜的最佳前驱体之一。目前国内外有机胺钽化合物主要采用卤化物合成法制备，存在工艺流程长、环境差、产率低、成本高、不易产业化等缺点。申请者曾采用电化学合成及蒸馏提纯法制备出PDEAT，但该方法的基础研究尚属空白，因此申请者提出"电化学合成PDEAT及纯化基础研究"的申请课题。主要研究内容包括：电化学合成过程中不同阳极电极电位下杂质元素在PDEAT中的分布规律；电解质种类及用量、电流密度、温度等对电流效率、槽电压和副反应的影响；建立PDEAT的温度-饱和蒸汽压曲线，揭示粗PDEAT多组分体系的汽液相平衡规律，为精馏提纯PDEAT提供理论指导；并为生产杂质含量总和<0.001%的高纯PDEAT提供理论保障；也为其它稀有金属有机化合物的电化学合成及纯化提供借鉴。