二维相位展开技术研究及其在纳米精度光学干涉面形测量中的应用

本项目以探求快速高效的二维相位展开新方法为主要目标，对基于禁忌搜索的全局优化相位展开方法、新颖质量图生成及质量图可靠度评价方法、二维相位展开技术在纳米精度光学干涉测量中的应用- - 特别是在MEMS结构光学干涉测量中的应用等几个主要方面开展深入研究.本项目研究将获得一种噪声免疫性强、运行速度快的二维相位展开新方法，运用该相位展开方法，在有外界噪声干扰的情况下，光学干涉面形测量系统仍能实现被测物体表面形貌的纳米精度高速自动化测量。本研究拟构建MEMS结构表面轮廓光学干涉测量系统，利用所获得的新相位展开方法，实现MEMS结构表面轮廓的纳米精度非接触快速在线测量。本项目研究不仅能为半导体工业、光通信、MEMS等领域的物体表面形貌测量提供纳米精度高速在线测量新技术，也能为干涉合成孔径雷达、自适应光学、固体物理和医学磁共振成像等涉及相位展开处理的相关领域提供快速高效的相位展开新方法。