硅一体化微机械结构型固态电化学传感器件基础研究

本项目研究的硅一体化微机结构型固态电化学传感器件，是一项基础科学（电化学、信息科学）与现代技术（硅微机械加工技术、计算机技术等）相融合、具有交叉学科色彩的创新研究工作。在电化学传感器件微小尺度效应下的基础性研究中发现和解决的新科学问题，对于新一代的微结构固态电化学传感器件的设计制作（如器件芯片的微三维加工，聚合物电解质的微区成膜固态化，表面处理等）及其性能的优化具有重要甚至是关键性的指导意义。作为研究实例，本项目研制的两类全新的电化学气体传感器（“微电流型固体电解质CO2气体传感器”和“调制电势脉冲型O2/CO2双组份电化学气体传感器”），在学术思想上有创新，并有广阔的应用前景。