图案化生长ZnO微/纳米阶层结构薄膜及其在微流器件上的应用

通过特定功能基团对ZnO形核和长大的耦合调制作用，实现ZnO微纳米阶层结构薄膜的图案化生长，并探索它在微流器件上的应用。研究内容包括：（1）研究Si基底表面上的功能基团、以及反应溶液中的功能基团对ZnO形核及形貌结构的影响机理，精确控制反应条件，结合光刻和掩模技术，实现ZnO微纳米阶层结构薄膜的图案化生长，构建ZnO基质微流体通道；（2）通过调节样品台使整个样品表面获得光照强度梯度或（和）光照时间梯度，基于ZnO的光响应润湿特性使其表面获得表面张力梯度；（3）探索在表面张力驱动机制作用下，微流体在ZnO基质微流道上的光响应驱动与控制规律。本项目从无机半导体材料的生长及其特性出发研究微流道构建技术以及微流体驱动与控制技术，为微流体器件研究提供一个新的思路；对于扩展ZnO纳米材料的应用范围，并推动微流体驱动与控制技术的发展，都是非常有益的。