基于微观层流控制技术的微流道内无掩膜二次微加工工艺研究

从微观层流流动理论入手，结合微观粒子图像测速技术研究微流道内流态转戾特性及临界参数界定方法。揭示微流道内多束层流束宽与交界面性状的动态演变规律，为基于多束层流的毛细管内无掩膜加工技术中交界面的控制提供可借鉴的理论依据。针对典型微流控芯片开展管内二次微结构刻蚀及多种功能材料的制备与成型两项工艺研究，通过理论指导与大量工艺实验相结合的模式力求初步建立基于微观层流控制的微流道内无掩膜二次微加工技术的工艺流程和技术规范，为提高未来我国微流控芯片的国际竞争力储备先进的工艺基础。