仿生微气流传感器以生物器官为原型,通过研究和利用生物器官的结构和机理来设计传感器,实现微弱气流的检测,具有极高的灵敏度,在微弱气流检测方面具有巨大的优势,引起广泛的关注。目前国外提出的仿生微弱气体扰动检测的结构使用压阻或电容检测,缺少有效的放大机制对信号进行放大。本项目提出一种能够完全模拟昆虫毛状感触器的功能(包括信号感知、放大、模数转换)的微仿生传感器。拟模仿昆虫毛状感触器的工作机理,运用MEMS技术研制出体硅薄膜来模拟刚毛,制作力学放大机构来模拟感觉神经细胞,再采用硅谐振梁微传感器来检测硅薄膜模拟刚毛感受到的粘滞力。基于MEMS技术的微谐振梁传感器,直接输出准数字的频率信号,具有精度高、稳定性好,抗干扰能力强等特点,已广泛应用于压力、加速度、流量等物理量传感器之中,但在微气流仿生传感器上的应用,目前尚没有相关报道。因此,本项目具有创新性,开展本项目研究具有重要的科学意义和应用前景。
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数据更新时间:2023-05-31
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