溶胶凝胶法金刚石薄膜生成及其刀涂覆机理

在详细分析了非高温高压合成金刚石技术工艺特点的基础上，深入研究了溶胶凝胶法制备金刚石薄膜的可行性和实现途径；通过溶胶凝胶法氮化钛膜制备工艺的研究，确立了两条金刚石膜制备的工艺路线，即采用石墨作为碳源的无机溶胶途径和采用高分子聚合的作为碳源的有机溶胶途径；而且在后续处理中研究了强激光冲击和氢等离子体处理分别对金刚石膜形成的作用效果，并对碳相转变的机理进行了探讨。研究表明，通过溶胶凝过程加后续处理工艺制备金刚石薄膜是可行的，为避免终膜中出现裂纹，采用浸渍提拉法涂覆溶胶膜时应严格控制提拉速度使每次成膜不得过厚，同时在无机溶胶的凝胶过程中提出去水和去溶剂分段进行的方案，有效地避免了裂纹的产生。