基于菲涅耳衍射透镜的光学加速度传感器新原理研究

基本信息
批准号:10477015
项目类别:联合基金项目
资助金额:20.00
负责人:贾书海
学科分类:
依托单位:西安交通大学
批准年份:2004
结题年份:2007
起止时间:2005-01-01 - 2007-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:霍军民,赵强,李宏荣,张俊武,颜国君,竹有章,王新,齐晓霞
关键词:
光传操纵系统加速度传感器光纤微机电系统(MEMS)
结项摘要

根据航空业光传操纵系统(FBL)发展的需要,提出一种光学加速度传感器的创新性原理和方案。该原理将MEMS和光纤技术相结合,即用光纤来传光,用MEMS技术来加工加速度敏感头。其中,MEMS敏感头中采用了一种全新的光学加速度敏感原理:在敏感头中设计独特的菲涅耳衍射透镜、微质量和微反光膜系统,微质量由于加速度的作用而改变微反光膜和菲涅耳衍射透镜的间距,从而改变焦点光强,实现加速度测量。该原理巧妙地利用了

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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