根据航空业光传操纵系统(FBL)发展的需要,提出一种光学加速度传感器的创新性原理和方案。该原理将MEMS和光纤技术相结合,即用光纤来传光,用MEMS技术来加工加速度敏感头。其中,MEMS敏感头中采用了一种全新的光学加速度敏感原理:在敏感头中设计独特的菲涅耳衍射透镜、微质量和微反光膜系统,微质量由于加速度的作用而改变微反光膜和菲涅耳衍射透镜的间距,从而改变焦点光强,实现加速度测量。该原理巧妙地利用了
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数据更新时间:2023-05-31
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