KEV级荷能原子(分子)集团束的材料改性和溅射研究

基本信息
批准号:19075067
项目类别:面上项目
资助金额:4.00
负责人:王震遐
学科分类:
依托单位:中国科学院上海应用物理研究所
批准年份:1990
结题年份:1993
起止时间:1991-01-01 - 1993-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:陈学诗,孔祥兴,兰云霞,魏永钦
关键词:
材料改性非线性级联碰撞集团离子溅射
结项摘要

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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