氧化锌基结形结构的低成本超声喷雾化学沉积法生长及其缺陷相关光电子特性研究

本项目在已有MOCVD和超声喷雾热解技术生长ZnO基结构材料、p型掺杂和结型发光器件的研究基础上，结合两种方法的技术特色和优势，提出了一种改进的超声喷雾化学气相沉积技术。通过超声波雾化有机盐水溶液产生雾气源并由载气输送至特殊设计的反应室，发生热分解生成薄膜。既保持超声喷雾源溶液中掺杂易于达到分子水平的混和，利于薄膜掺杂均匀性的优势。又可改善超声喷雾热分解工艺的生长控制精度和工艺稳定性。同时，还避免了MOCVD法MO源成本较高、有毒且很容易预反应的问题。重点研究电注入下ZnO结型结构内载流子的输运途径和复合/散射特性，以减少载流子复合区域内非辐射跃迁中心及深能级缺陷，增强其紫外电注入发光性能。预期可得到具有原始创新性的ZnO薄膜生长方法和光电器件，为一些ZnO基薄膜光电器件应用提供一种低成本新选择。同时，该项目在氧化物薄膜的新型制备技术领域的前沿探索，可望形成新的研究方向。