补偿式集成厚膜气体传感器的研究

本研究利用补偿原理和厚膜技术研制出了补偿式集成厚膜气体传感器。该传感器对丁烷具有较好的选择性，而且功耗低、稳定性好。该研究给出补偿方法的定量表达，指出了在不同条件下集成元件可以呈不同导电类型，并且在实验上通过控制分立元件的材料特性如电阻和灵敏度来控制集成元件的特性。本研究还从理论上分析了构成热—气复合元件的可靠性，并推导出了构成热－气复合元件的条件。此外我们还在分立元件的表面修饰及元件毒性气体中失效等方面作了一些探索，本研究按预期计划完成了。这项研究为改善元件的选择性提供了一个新方法，已经受到同行的重视，今后一定会有更大的发展。