重离子微束研究航天电子器件单粒子效应机制

大和超大规模集成电路的加固是卫星抗辐射加固的基础.采用束流直径与芯片工艺水平相当的重离子微束研究单粒子效应的微观机制是地面模拟研究中最有效的手段之一.它可确定芯片不同区域的敏感度;确定电荷产生、放大和收集的机制，详细给出易损单元的位置分布、尺寸、其与材料和工艺等参数的定量关系，对提高国产加固芯片抗单粒子容限具有重要意义。