对局域分子外延技术进行了研究,找到了局域分子束外延的工艺条件和合适的生长条件,观察到该方法生长的GeSi材料的光致发光。后来由于该技术在国际上被认为难以获得小尺寸的量子点材料,我们对研究工作作了些调整,探索了自组织生长方法,获得了直径为100nm,高度为24nm的Ge量子点结构,其尺寸均匀性优于±3%的量子点材料,其均匀性是目前国际上报道的最好值。此外对Si分子束外延中Sb掺杂和B掺杂行为作了较详细的研究,共发表论文10篇,其中七SCI论文。
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数据更新时间:2023-05-31
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