干涉法高分辨率二维对准技术

基本信息
批准号:69576018
项目类别:面上项目
资助金额:8.70
负责人:周卫东
学科分类:
依托单位:四川大学
批准年份:1995
结题年份:1998
起止时间:1996-01-01 - 1998-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:周肇飞,迟桂纯,张涛,蒋融,王世华,吴斌
关键词:
掩模硅片对准技术光刻技术线宽测量
结项摘要

本课题采用高速摄影技术研究了柴油机供油系统中出油阀紧幅腔、高压油管嘴盛油槽处的汽泡现象,阐述了汽泡的产生、发展和溃灭过程及其影响因素。发现存在两种汽泡类型,论述了气泡类型与压力波之间的关系;并在运转中的发动机上拍摄到空转、额定功率及最大扭矩等工况时高压油管内的汽泡现象,其运动规律极为复杂,并对发动机性能有明显影响。此外,利用自制的油嘴压力室压力测量装置和敏循环喷油量测量装置对尾喷进行了研究。试验表明,尾喷期间的喷雾质量最差,极易导致柴油机性能指标的下降,且这种影响随转速的升高而更为显著。改变供油系统参数,特别是油嘴的结构尺寸,可改善尾喷质量,从而提高柴油机的性能指标。

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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