面发射激光器灵巧象素

全面超额完成项目研究内容和技术指标，填补国内空白，紧跟国际发展步伐。自行设计研制垂直腔面发射激光器列阵，完成VCSEL全结构外延片生长，发展快速中测技术，进行质量优选。高反射带中心波长、增益峰波长、模式波长三者匹配良好。突破器件关键工艺，制备出低阈值VCSEL列阵。设计制备多种类型专用集成电路，测量了电路的电学、阈值调制、驱动调制特性。研究了VCSEL列阵与专用集成电路多芯片组装灵巧象素的结构、集成单元和集成技术，分别研制出单信道、8信道、16信道VCSEL灵巧象素；测量了VCSEL灵巧象素的光电特性（工作波长为0.85μm）及0.98μm，激射阈值电流小于1mA，工作电压小于5V，单信道传输速率大于622Mb/s，-3dB频带宽度大于1GHz）。发表学术论文15篇。