全面超额完成项目研究内容和技术指标,填补国内空白,紧跟国际发展步伐。自行设计研制垂直腔面发射激光器列阵,完成VCSEL全结构外延片生长,发展快速中测技术,进行质量优选。高反射带中心波长、增益峰波长、模式波长三者匹配良好。突破器件关键工艺,制备出低阈值VCSEL列阵。设计制备多种类型专用集成电路,测量了电路的电学、阈值调制、驱动调制特性。研究了VCSEL列阵与专用集成电路多芯片组装灵巧象素的结构、集成单元和集成技术,分别研制出单信道、8信道、16信道VCSEL灵巧象素;测量了VCSEL灵巧象素的光电特性(工作波长为0.85μm)及0.98μm,激射阈值电流小于1mA,工作电压小于5V,单信道传输速率大于622Mb/s,-3dB频带宽度大于1GHz)。发表学术论文15篇。
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数据更新时间:2023-05-31
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