气体摆式线加速度传感器

论证了“气体摆”新概念，以及将其用于敏感加速度的可行性，制作出±5G的气体加速度传感器原理样机。通过研究气流腔内热场分布与输出电压的关系，确定输出电压与加速度的关系。通过优化结构和工艺±1G的加速度传感器（倾角传感器）分辨率0.01°非线性1%，产品已实用化，获电子工业部科技进步三等奖。倾角传感器与压电射流速率传感器成功地构成了“水平姿态传感器”，通过电子工业部组织的鉴定。