制备高性能SOI材料的若干物理问题研究
基本信息
批准号：10254002
项目类别：专项基金项目
资助金额：50.00
负责人：周宏宇
学科分类：
依托单位：北京师范大学
批准年份：2002
结题年份：2005
起止时间：2003-01-01 - 2005-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：周宏宇,王荣,梁宏,马芙蓉,董悦安,卢志恒,陈如意,罗晏,马云志,吴虎才
关键词：
SOI材料SIMOX技术优化
结项摘要
针对SIMOX－SOI材料制备中的关键基础物理问题拟开展高效率高品质氧离子束的产生、输运、高温靶室的优化设计、非晶化和新表征技术的应用研究，以改善氧离子注入的均匀性、减少金属杂质污染和表面硅单晶的位错密度及埋层二氧化硅中分凝物密度，并发展新的物理测试诊断方法，为解决高品质SOI材料制备中的关键物理问题打下基础。.
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
其他相关文献
1
涡度相关技术及其在陆地生态系统通量研究中的应用
涡度相关技术及其在陆地生态系统通量研究中的应用
DOI：10.17521/cjpe.2019.0351
发表时间：2020
2
一种光、电驱动的生物炭/硬脂酸复合相变材料的制备及其性能
一种光、电驱动的生物炭/硬脂酸复合相变材料的制备及其性能
DOI：10.16085/j.issn.1000-6613.2022-0221
发表时间：2022
3
硬件木马:关键问题研究进展及新动向
硬件木马:关键问题研究进展及新动向
DOI：
发表时间：2018
4
端壁抽吸控制下攻角对压气机叶栅叶尖 泄漏流动的影响
端壁抽吸控制下攻角对压气机叶栅叶尖 泄漏流动的影响
DOI：
发表时间：2020
5
基于公众情感倾向的主题公园评价研究——以哈尔滨市伏尔加庄园为例
基于公众情感倾向的主题公园评价研究——以哈尔滨市伏尔加庄园为例
DOI：
发表时间：2022
周宏宇的其他基金
批准号：51378030
批准年份：2013
资助金额：80.00
项目类别：面上项目
批准号：81302807
批准年份：2013
资助金额：23.00
项目类别：青年科学基金项目
相似国自然基金
1
左手材料若干物理问题研究
批准号：10634050
批准年份：2006
负责人：陈鸿
学科分类：A20
资助金额：200.00
项目类别：重点项目
2
材料微结构物理若干基础问题研究
批准号：19334010
批准年份：1993
负责人：龙期威
学科分类：A20
资助金额：36.00
项目类别：重点项目
3
微结构材料中若干物理问题的研究
批准号：10523001
批准年份：2005
负责人：朱永元
学科分类：A20
资助金额：120.00
项目类别：专项基金项目
4
生物膜界面的若干材料物理问题
批准号：10674158
批准年份：2006
负责人：李明
学科分类：A2001
资助金额：36.00
项目类别：面上项目