高精度非接触式表面三维形貌测量系统的研究
基本信息
批准号：58870209
项目类别：面上项目
资助金额：4.00
负责人：张鄂
学科分类：
依托单位：上海交通大学
批准年份：1988
结题年份：1992
起止时间：1989-01-01 - 1992-05-01
项目状态： 已结题
项目参与者：游俊魁,严慧莉,金增伟
关键词：
表面形貌摈面粗糙度测量光学轮廓仪
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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