Cu/ZrW2O8梯度复合薄膜的制备、表征与界面基础研究

本项目通过复合材料复合准则的部分修正，并经制备工艺参数的优选，制备出Cu/ZrW2O8梯度功能复合薄膜。该类热膨胀系数连续变化的梯度功能薄膜，通过有限元分析和膜基界面结合力的定量分析，确定所合成薄膜与基体的结合强度。运用材料微观分析方法对所制备薄膜的结构、形貌、相组成等进行表征，从而优化制备工艺参数。通过上述研究，确定成分设计、制备工艺、组织结构与层间应力分布之间的内在关系，并实现合理梯度分布的有效控制。在合成出高导电、高导热、低介电常数、热膨胀系数连续变化、层间应力平缓过渡的梯度功能薄膜的同时，为该类梯度功能复合薄膜的设计与制备奠定理论基础。