“显微形貌位移相关分析与重构”是测量物体微区内位移场的方法。观测微区可小到纳米尺度,最高分辨率是0.1nm,可测出原子级的位移量。测量原理基于表征自然形貌的随机转波显微自增密现象,摄取载波图的变化,用图象相关、变分、有限元等分析方法,以得表面位移场。从形貌变化的多向投影图用重构法获得内部位移场。测试系统由显微镜、微纲及分析软件组成。该系统可按需要置换三种显微镜(远距离光学显微镜,扫描电镜,原子力显微镜。)测件置于空气中或真空试件盒中,一般不需作表面处理,操作简便,通用。是开拓细微观实验力学途径之一,可望应用于细、微观固体力学,材料学,微电子学,纳米机械学等领域。.
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数据更新时间:2023-05-31
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