硅基超薄介质膜的扫描探针显微术研究

基本信息
批准号:69806003
项目类别:青年科学基金项目
资助金额:11.80
负责人:蔡群
学科分类:
依托单位:复旦大学
批准年份:1998
结题年份:2001
起止时间:1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:杨建树,胡舜涛,钱冬
关键词:
超薄介质膜扫描探针显微术MIS器件
结项摘要

本项目利用超高真空扫描探针显微技术从原子尺度上进行硅基器件超薄栅介质膜的制备,结构和电学特性研究。半导体工业超大规模的集成技术的飞速发展,造成器件尺寸不断减小,栅介质层厚度不断下降,使得二氧化硅介质层本身的质量及与衬底的界面效应变得非常重要。深入研究这些现象,对微电子器件的发展具有重要的指导意义。

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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