利用光子晶体增强硅基发光效应的研究

基本信息
批准号:60977045
项目类别:面上项目
资助金额:10.00
负责人:吴远大
学科分类:
依托单位:中国科学院半导体研究所
批准年份:2009
结题年份:2010
起止时间:2010-01-01 - 2010-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:王红杰,李建光,白云霞,王玥,张家顺,李帅,姜婷,马朝华
关键词:
Ge/Si纳米岛光子晶体局域效应硅基发光耦合缺陷腔
结项摘要

硅基发光材料和器件是硅基光电子集成技术中的关键、核心部件。如何实现高效的Si基发光一直是科学与工程学界研究的热点。本项目将瞄准国际前沿研究方向,立足国内,在 UHV/CVD系统自组织生长的高密度Ge/Si 纳米岛材料上设计、制作全新的光子晶体耦合缺陷腔或光子晶体波导微腔结构,利用光子晶体微腔的光子局域效应和波导带边慢波效应提高Ge/Si纳米岛材料的发光效率,并通过微区光荧光测试验证光子晶体微腔对改善Ge/Si纳米岛材料发光效率的作用。主要研究内容包括SOI基Ge/Si纳米岛材料生长、光子晶体缺陷腔结构设计、能带及谐振频率分析、SOI基Ge/Si纳米岛光子晶体微腔制作、高Q值研究、光子晶体缺陷腔增强Ge/Si材料发光效率机制探索,以及微区光荧光测试分析等。该技术的突破必将促进硅基光电子集成的高速发展,并将在光互连、光计算、光显示等领域具有重大的应用前景,对我国信息产业的发展具有重大意义。

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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