面向微小结构制作的快速成形技术研究

研究面向微小结构的低成本高分辨率快速成形技术具有重要意义。提出利用以数字微反射镜器件为核心的视图发生器生成的零件截面视图作为动态掩模，实现对光敏树脂整层曝光选择性固化的快速成形方法。利用数字微反射镜器件构建视图发生器，建立新型快速成形实验系统。利用抛物面反射镜、高压汞灯、匀光器、准直镜头组、数字微反射镜器件及其控制器、聚焦透镜以及计算机构建视图发生器。通过对光源与光敏树脂的匹配性研究、视图平面内紫外光能分布均匀化研究，提高视图生成与转移质量。探索涂层过程中出现的边缘"隆起"及制作"陷阱"结构时出现的涂层厚度不均匀问题的机理，利用面响应法对涂层参数进行动态优化，实现涂层厚度均匀化。揭示整层曝光固化时最小固化单元尺寸与曝光量的关系，建立通过微反射镜灰度控制实现下垂面过固化量的补偿方法，提高微细结构在堆积方向的制作精度。为开发面向中间尺度微小结构制作的低成本高分辨率快速成形技术提供基础。