高灵敏度磁场传感器在诸多领域有着重要、广泛的应用,微型化、低功耗和低成本成为其必然的发展趋势,目前的各种技术方案并不能很好地满足应用的需求。本研究提出了原理为微小磁性薄膜在均匀外磁场中受到磁力矩发生扭转来敏感外磁场的新颖的高灵敏度MEMS磁场传感器,并利用对角度非常敏感的双光纤准直器对扭转角度进行检测,灵敏度可达nT量级。该方案结构简单,避免了微磁通门传感器中的激励、拾取线圈,大大了降低器件功耗,
{{i.achievement_title}}
数据更新时间:2023-05-31
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