采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD),以乙酰丙酮铱和乙酰丙酮铂为沉积源物质,在趸缃庵剩╕SZ)上制备Ir-C簇膜。研究CVD工艺参数对簇膜的形貌组织及电化学性能挠跋欤煌ü源啬さ慕峁辜暗缁阅苡兄匾跋斓腗OCVD制备过程科学问题的探索,为其在氧化传感器及其他催化电极方面的应用提供基础性研究资料。
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数据更新时间:2023-05-31
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