化学气相合成高纯超细氮化铝粉末
基本信息
结项摘要
建立了超细氮化铝粉未合成技术的理论,首次提出了CVD反应器中粒子形成和薄膜淀积的控制理论和成核与成膜判据H推数,给出了CVD反应器中粒子形态与晶型的控制策略,首次将单分散气溶胶自保分布的理论发展到伴随有均相化学反应的系统中,建立了化学气相淀积过程动力学方程,根据上述理论研究提出了高性能超细粒子材料制备过程中包含物质、形态、过程速率与生产条件四要素的观点.研究了AlCL3-NH3-N2-H2体系热CVD法制备超细AlN的工艺和SiCL4-NH3-Ar-H2体系高频感应等离子体CVD法制备超细Si3N4的工艺以及各种工艺条件对超细粉未质量的影响,以此作为反应器开发与放大的基础.
项目摘要
项目成果
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暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
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