金属微结构的激光冲击处理技术

项目以提高MEMS金属微结构的可靠性为目的，对金属微结构的微尺度激光冲击处理技术进行研究。由于激光光斑在微米尺度范围内，在液体约束介质中激光等离子体诱导的冲击波已不再满足一维平面波的假设，本项目采用旋转椭球面波模型对冲击波进行描述，求解轴向冲击力与径向冲击力的空间分布与时间历程。研究轴向载荷和径向载荷共同作用下，考虑材料的非线性、有限尺寸效应和动态屈服强度的影响，在靶材动态形变过程中，材料三维应力应变的空间分布与发展规律，建立微尺度冲击处理过程的机理模型。并采用机理模型与实验设计相结合的方法对机理模型进行检验和修正，在此基础上，采用统计过程控制技术对微尺度激光冲击处理过程进行统计建模、实时监测与控制。