复杂多重入半导体晶圆混合流程制造过程建模方法研究
基本信息
批准号：60574054
项目类别：面上项目
资助金额：23.00
负责人：周炳海
学科分类：
依托单位：上海交通大学
批准年份：2005
结题年份：2008
起止时间：2006-01-01 - 2008-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：迟永琳,陈峰,周晓军,李春常,黄润青,王世进
关键词：
网知识表达混合流程半导体晶圆过程建模Petri
结项摘要
随着半导体集成制造技术的发展，其制造过程更加复杂，基于模型的半导体制造优化控制理论和方法越来越受到企业界和学术界的关注。本项目旨在采用属于现代科学技术范畴的混合动态系统建模与仿真理论、知识表达方法、制造过程调度与控制理论来研究并解决以半导体制造业为代表的复杂多重入半导体晶圆混合流程制造过程的建模方法问题。在拓展和完善面向对象的混合Petri网的基础上，提出基于知识表达的面向对象混合Petri网（KOHPNs）的建模原理和过程分析方法；为使建模方法适应制造过程的实时调度与控制，进行了基于KOHPNs模型支持多目标优化的动态调度机理的研究；建立基于KOHPNs模型的具有自治与协调能力的计算机仿真模型，并使之能进行KOHPNs模型验证以及多目标调度算法分析。因此，通过本项目的研究可拓展知识表达的面向对象的混合Petri网建模理论，对提高我国半导体制造业的科学生产与管理水平具有重要的指导意义
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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