高性能氧氮玻璃薄膜制备

采用直接氮化和常压化学气相沉积等方法制备氧氮玻璃薄膜，运用现代测试技术对薄膜成份、结构和性能进行测试和表征。结果表明：直接氮化温度高、氮化速度慢。CVD法氮化在640℃的温度几分钟内可生成氧氮玻璃薄膜；首次发现氨中的水汽在硅烷一氨系统的化学反应中扮演了重要角色，它是薄膜中氧原子的主要来源，水汽含量高时会生成SiO2薄膜，随着氨纯度的提高，薄膜中氮含量随之提高，但只有适当氧氮化的氧氮玻璃才能和平板玻璃结合良好；氧氮玻璃薄膜具有良好的化学稳定性，氮化后玻璃强度和硬度提高20%以上。项目取得了突破性成果，发表和录用学术论文14篇，获国家教委甲类科技进步三等奖，整个研究达到国内领先、国际先进水平。