基底亚表面缺陷对激光薄膜的性能影响及其表征与控制

由光学元件亚表面缺陷引起的激光损伤是限制高功率激光系统能量进一步提高的重要原因。本项目首先采用不同的表征方法如化学刻蚀、受抑全反射等对光学元件的亚表面缺陷进行综合表征，探究亚表面缺陷对抛光工艺的依赖关系；进而研究光学元件的亚表面缺陷对激光薄膜光学的性能和损伤阈值的影响，分析光学元件的激光损伤与其亚表面缺陷之间的耦合机理；另外，探索研究亚表面缺陷的后处理手段如激光预处理、离子轰击等在改善光学元件性能方面作用。项目的目标是深入认识亚表面缺陷诱导损伤机理，并为抑制亚表面缺陷对激光薄膜性能的负面影响寻找有效的解决途径。