陶瓷-金刚石膜复合材料介电性质的研究

首先采用微波等离子化学气相沉积法、热丝法和氧气-乙炔火焰在氧化铝陶瓷基片上淀积出金刚石薄膜，并制备出氧化铝陶瓷/金刚石膜复合材料。研究了不同方法制膜的成核机理，界面的微观结构及其与工艺条件的相关性。研究了不同氧化铝陶瓷基质和不同金刚石薄膜沉积条件对成核密度，晶格结构完整性，薄膜内应力和复合材料的介电性能的影响。采用激光喇曼散射分析、X衍射分析和扫描电镜等对所得材料分析，结果表明：沉积膜的纯度高、质量好、且成膜致密。在频率为1MHz的测试条件下，所得的氧化铝陶瓷/金刚石膜复合材料的介电系数低于9的预定指标。研究结果分别发表在《物理学报》、《中国物理快报》和《Thin Solid Films>等国内外学术期刊上。