硅正交复合梁结构微机械陀螺研究
基本信息
批准号：69876009
项目类别：面上项目
资助金额：13.00
负责人：鲍敏杭
学科分类：
依托单位：复旦大学
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：杨恒,叶俊,窦凤春,陈蓓蓓
关键词：
微机械陀螺
结项摘要
硅微机械振动陀螺是当前微电子机械技术的研究重点，它的设计与微机械动力学的研究密切相关。本项目提出一种硅正交复合梁结构微机械振动陀螺。该结构由单晶硅用特殊的无掩模腐蚀微机械加工技术制成。由于巧妙地利用了质量块横向振动的高Q值和压阻读出的方法，苊饬讼钟形⒒低勇菪枰婵辗庾昂托〉缛荻脸龅睦选Ｓ忻飨缘挠旁叫浴
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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