硅正交复合梁结构微机械陀螺研究
基本信息
批准号：69876009
项目类别：面上项目
资助金额：13.00
负责人：鲍敏杭
学科分类：
依托单位：复旦大学
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：杨恒,叶俊,窦凤春,陈蓓蓓
关键词：
微机械陀螺
结项摘要
硅微机械振动陀螺是当前微电子机械技术的研究重点，它的设计与微机械动力学的研究密切相关。本项目提出一种硅正交复合梁结构微机械振动陀螺。该结构由单晶硅用特殊的无掩模腐蚀微机械加工技术制成。由于巧妙地利用了质量块横向振动的高Q值和压阻读出的方法，苊饬讼钟形⒒低勇菪枰婵辗庾昂托〉缛荻脸龅睦选Ｓ忻飨缘挠旁叫浴
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
暂无此项成果
数据更新时间：2023-05-31
其他相关文献
1
微通道内卫星液滴生成机理与惯性分离机制
微通道内卫星液滴生成机理与惯性分离机制
DOI：10.11949/0438-1157.20190749
发表时间：2020
2
A Fast Algorithm for Computing Dominance Classes
A Fast Algorithm for Computing Dominance Classes
DOI：
发表时间：2016
3
微震识别方法研究进展
微震识别方法研究进展
DOI：10.6038/pg2019CC0098
发表时间：2019
4
深部硬岩截割特性与机械化破岩试验研究
深部硬岩截割特性与机械化破岩试验研究
DOI：10.11817/j.issn.1672-7207.2021.08.023
发表时间：2021
5
铝化学机械抛光中1,2,4-三唑和苯并三氮唑的缓蚀机制
铝化学机械抛光中1,2,4-三唑和苯并三氮唑的缓蚀机制
DOI：
发表时间：2019
鲍敏杭的其他基金
批准号：68676005
批准年份：1986
资助金额：2.50
项目类别：面上项目
批准号：68880210
批准年份：1988
资助金额：3.30
项目类别：专项基金项目
相似国自然基金
1
旋转载体用硅微机械陀螺
批准号：60472011
批准年份：2004
负责人：张福学
学科分类：F0123
资助金额：28.00
项目类别：面上项目
2
微机械硅梁膜结构的压力传感特性研究
批准号：68880210
批准年份：1988
负责人：鲍敏杭
学科分类：F0113
资助金额：3.30
项目类别：专项基金项目
3
体硅微陀螺仪敏感结构的误差机理研究
批准号：U1230114
批准年份：2012
负责人：杨波
学科分类：A31
资助金额：68.00
项目类别：联合基金项目
4
无驱动结构的微机械陀螺
批准号：60971024
批准年份：2009
负责人：张福学
学科分类：F0123
资助金额：39.00
项目类别：面上项目