硅薄膜微机械光、热激励响应规律的研究

全面完成了预期任务。得到了硅微机械谐振器在光、热激励下谐振频率及振幅规律；研制了一种真空传感器样品；建立了实验测试系统测试了样品光热激励响应的规律；提出了获得最大热挠曲灵敏度的双层材料镀膜最佳厚度比选择法；首次提出微梁两侧分子热运动不平衡的观点，并对Kadar阻尼模型进行修正；首次进行了硅微谐振器镀膜层的影响研究，提出镀膜结构的多参数等效法；首次进行镀膜后双金属效应下光激励功率与谐振频率关系的研究，并建立了相应模型；首次提出了一种硅微悬臂梁的新型红外探测器的优化设计方案；加工得到了一批硅微谐振器样品；在国内外核心期刊发表学术论文二十二篇，其中一篇为SPIE学术大会特邀报告，两篇被SCI收录。