非传统方法制备超精细纳米结构及其应用

非传统制备技术作为光刻等传统技术的有益补充，目前已经在生物芯片、微流体、光电子等领域得到诸多应用。本项目提出一种新的基于纳米转移印刷和边缘刻蚀的非传统制备方法，通过在二甲基硅氧烷橡胶(PDMS)印章的表面蒸镀金属或非金属薄膜并转移印刷，将金属或非金属纳米结构印制到不同的材质上形成超精细图案。该方法具有制作简单，易于操作，能够方便地操控纳米结构和对其精确定位以及便于大规模复制，不需要昂贵设备和特殊环境等特点，有望在生化分析和微纳光电子等领域得到实际应用。