新型材料Al-C-N 薄膜的制备与结构物性表征

AlCN是唯一含金属元素的轻元素共价键化合物，它是性质比较特殊的宽带半导体和绝缘陶瓷材料，其原子结构和电子结构有很大的可供裁减的空间，且它较易金属化。因此作为半导体材料、介电材料和光电子材料将有广泛的应用前景。关于它的研究，国际上才刚刚起步。我们拟采用离子束辅助沉积、等离子体辅助沉积等方法生长一系列不同组分和微结构的AlCN薄膜，研究AlCN硬质薄膜的微观结构及生长特性，建立Al-C-N系统的相图；研究离子束辅助生长AlCN各种结构相的机理，探索不同相择优生长的条件；研究AlCN薄膜微观结构和组分对薄膜物理性能的影响；探索金属-AlCN异质结的物理性质；获得Al(CN)3 和其它相的多晶薄膜，测定其晶体学参数；测定不同材料相的力学、光学和电学等方面的性质。这些方面的研究将为Al-C-N系材料的应用提供实验依据。