金刚石膜同步辐射X射线掩模及光刻的基础研究
基本信息
批准号：69876026
项目类别：面上项目
资助金额：15.50
负责人：苟立
学科分类：
依托单位：四川大学
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：苟立,冉均国,蒋洪川,胡一贯,韩瑾,乐德,陈金松
关键词：
金刚石掩模同步辐射X射线光刻
结项摘要
同步辐射Ｘ射线暴光是最有前途的一种亚微米光刻技术，利用金刚石薄膜优异的光学，力学性能制作光刻掩模，研究金刚石膜的工艺，结构与Ｘ射线透过率的关系；金刚石掩模板的设计，制备技术；同步辐射Ｘ射线光刻应用的基础理论。对促进同步辐射Ｘ射线光刻应用和加速我国微电子工业的发展有重大意义。
项目摘要
项目成果
{{index+1}}
{{i.achievement_title}}
{{i.achievement_title}}
DOI：{{i.doi}}
发表时间：{{i.publish_year}}
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数据更新时间：2023-05-31
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